产品描述:

特征：                                                            应用：

直線度可達10um                                              半導體設備
X軸最大6m Y軸0.5m行程                                   自動化搬送
以線性滑軌架構之定位平台                                 FPD設備
良好接地設計防止雜訊干擾                                 太陽能製造設備
Z向震動可達奈米等級以下                                  PCB設備
最大速度可達5m/s                                            水刀設備
標準重現精度1um或以下                                    鑽石切割產業
位置回饋系統解析度最低可達50nm                      AOI檢測設備
                                                                     工具機